首页 >>> 产品目录 >>> 其他类

SRC-100V_辊涂布机_SATOVAC佐藤真空PHIL

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: SRC-100V_辊涂布机_SATOVAC佐藤真空PHIL
产品型号: SRC-100V
产品厂商: 岩濑商事
产品文档: 无相关文档

SRC-100V_辊涂布机_SATOVAC佐藤真空PHIL  的详细介绍

SRC-100V_辊涂布机_SATOVAC佐藤真空PHIL

■研究開発、小ロット生産に適した小型・高性能ロールコーターです。プラズマ処理、スパッタ及び蒸着のユニットがあります。

 

主仕様

到達圧力 ×10‒5 Pa
真空計 BAゲージ、キャパシタンスマノメーター
ワークサイズ W100mm×L200ｍ×t 50～100um
送り速度 0.2～4m/min (CW/CCW 可能)
真空槽 SUS304 　Ｗ500×Ｈ850×Ｄ450㎜
ロールコーン φ250　水冷式
軸シール 磁気シール使用
成膜前プラズマ処理 13.56ＭＨｚ ＲＦ電極　×１式
蒸発源 ① 70×200　ＤＣマグネトロン型　　×２式まで
② 抵抗蒸発源
主ポンプ ＴＭＰ　1100L/s
水分排気 ＣＲＹＯスーパートラップ
プロセスガス Ar , O2 , N2 , マスフローコントローラ使用
床面積 4㎡
ユーティリティ ・AC200V 3φ 100A 　　・冷却水

国内免费咨询专线：4008-933-365

 

 

产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注：1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!

粤公网安备 44030902000469号