EXAM,等离子腐蚀装置,SHINKO神港精机

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产品名称: EXAM,等离子腐蚀装置,SHINKO神港精机
产品型号: EXAM
产品厂商: 岩濑商事
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EXAM,等离子腐蚀装置,SHINKO神港精机  的详细介绍

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产品特点:

ハードモード・ソフトモードの切り換えで、異方性エッチング及び等方性
エッチングを実現します。
広域ターボポンプを使用している為、広い圧力範囲でのエッチングが出来ます。
また、RFパワー,電極間距離,ガス流量などを、幅広く制御出来る装置です。
研究開発や小ロット生産に適しています。

【オプション】
ロードロック室
カセットtoカセット搬送

 

 

 

国内免费咨询专线:4008-933-365

 

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