AAPIG-16110D,DLC薄膜形成装置,SHINKO神港精机

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产品名称: AAPIG-16110D,DLC薄膜形成装置,SHINKO神港精机
产品型号: AAPIG-16110D
产品厂商: 岩濑商事
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AAPIG-16110D,DLC薄膜形成装置,SHINKO神港精机  的详细介绍

AAPIG-16110D,DLC薄膜形成装置,SHINKO神港精机

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产品特点:

標準Φ140×h400×12軸の基板に対し標準3μm(MAX10μm)のDLC薄膜を180分(うち成膜時間は60分)で作製する量産機です。

产品用途:

本装置は各種基板に耐腐食性、耐磨耗性及び平滑性に優れたDLC(ダイヤモンドライクカーボン)薄膜をプラズマCVD法により成膜する装置です。

プラズマ源に熱陰極PIGプラズマガン(独自特許)を使用し真空中でガスを活性化し反応させて高品質のDLC薄膜を作製できます。

 

 

 

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