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HSV-8-50_真空蒸发装置_SATOVAC佐藤真空PHIL

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产品名称: HSV-8-50_真空蒸发装置_SATOVAC佐藤真空PHIL
产品型号: HSV-8-50
产品厂商: 岩濑商事
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HSV-8-50_真空蒸发装置_SATOVAC佐藤真空PHIL  的详细介绍

HSV-8-50_真空蒸发装置_SATOVAC佐藤真空PHIL

当社の蒸着装置は、大学などの各研究機関の実験装置をはじめ小ロットの生産装置として*も汎用性の高い装置として設計されています。コンパクトな外観と優れた内部機構、コントロール系を有し、排気系は、手動式及び全自動操作が可能です。誘電体膜( 光学系) から、アルミ、クロムなどの金属膜を容易に形成し、その応用は広範囲です。他に電子ビーム蒸着及び膜厚モニターによる自動蒸着制御タイプ、生産用大型蒸着も製作しております。

真空蒸着装置
真空蒸着装置

主仕様

型　　式 HSV-3-30G HSV-6-40 HSV-8-50
到達圧力 10-3Pa order
基板加熱温度 無 Max 300℃
蒸発源（電極） 2対 10V Max150A
バルブ操作 手動 自動 手動 自動 手動
排気系 手動 自動 手動 自動 手動
● 構　　造 　
ベルジャー 300φ×300H
透明ガラス 		400φ×400H　　（水冷式）
SUS 304 		500φ×500H　　（水冷式）
SUS 304
ベルジャー内機構 シャッター機構、抵抗加熱機構 回転機構、シャッター機構、加熱ヒーター、抵抗加熱機構
● 排 気 系
油拡散ポンプ 3inches 6inches 8inches
真空ポンプ 150L/min 500L/min
主バルブ 3inches 6inches 8inches

国内免费咨询专线：4008-933-365

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