AAMF-C2280SPBR,真空装置,SHINKO神港精机

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产品名称: AAMF-C2280SPBR,真空装置,SHINKO神港精机
产品型号: AAMF-C2280SPBR
产品厂商: 岩濑商事
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AAMF-C2280SPBR,真空装置,SHINKO神港精机  的详细介绍

AAMF-C2280SPBR,真空装置,SHINKO神港精机

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产品特点:

本機は、6連式電子銃蒸発源および抵抗加熱蒸発源4対を有し、自公転治具による多量生産が可能です
また、抵抗加熱源が回転移動方式のため、真空槽内部の省スペースを実現しております
また、基板(ウエハー)を500℃まで昇温可能ですので、合金炉に移しかえることなく、合金化が可能です
オプションにて、パソコンによるプロセス管理およびデータロギング等も行えるマルチ機能型蒸着装置です 

 

 

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