STH10311，侧面溅射装置，SHINKO神港精机

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产品名称: STH10311，侧面溅射装置，SHINKO神港精机

产品型号: STH10311

产品厂商: 岩濑商事

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STH10311，侧面溅射装置，SHINKO神港精机 的详细介绍

STH10311，侧面溅射装置，SHINKO神港精机

产品特点：

本機は、Φ200mmカソードを３元備え、ロータリカソードの採用により膜厚分布±5％以下を実現し、ターゲットの使用効率も向上させました。
またコンパクト化を追求し、小型、省スペースを実現しました

产品用途：

本装置は平面基板多量生産用に開発されたバッチ式サイドスパッタリング装置です。
膜厚分布は、Φ320平面×4枚で±5％以下を実現致しました。
サイドスパッタの採用によりメンテナンスや基板の脱着作業を容易にしており、主排気ポンプおよび電源等のあらゆる
機構・機能を各種選択する事により、お客様のニーズにお応え致します。

国内免费咨询专线：4008-933-365

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STH10311，侧面溅射装置，SHINKO神港精机

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